三氟甲烷 (CHF3)
项目名称 |
纯度指标(%) | ||
三氟甲烷 |
≥99.999 |
≥99.9 |
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杂质含量(ppm)
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水(H2O) |
≤3 | ≤10 |
氧气(O2) |
≤2 |
- | |
氮气(N2) |
≤5 | - | |
二氧化碳(H2SiF6) |
≤3 |
≤100 | |
酸度(Acidity) |
≤0.1 |
≤1 |
包装:采用40L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途:用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温(-100℃)制冷剂及氟有机化合物的原料。
理化性质: 是一种无色、微味,不导电的低毒类气体,是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲烷具有窒息麻醉作用,对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻伤。
注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易(可)燃物分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
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