氢气 (H2)
项目名称 |
纯度指标(%) | ||
氢气 | ≥99.9999 |
≥99.999 |
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杂质含量(ppm)
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氧气(O2) |
≤0.2 | ≤1 |
水(H2O) | ≤1 |
≤3 |
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氮气(N2) | ≤0.4 |
≤5 |
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一氧化碳(CO) |
≤0.1 | ≤1 | |
二氧化碳(CO2) | ≤0.1 |
≤1 |
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甲烷(CH4) |
≤0.2 |
≤1 |
包装:采用40L、49L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8-10L的气瓶中。
用途:半导体制造用平衡气,蚀刻气、标准气、零点气、校正气、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、气体燃料、石油精炼等。
理化性质: 氢气有窒息性,有易燃易爆性。氢气是世界上已知的密度最小的气体,只有空气的1/14,即在0 ℃时,一个标准大气压下,氢气的密度为0.0899 g/L。
注意事项:氢气因为是易燃压缩气体,故应储存于阴凉、通风的仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与氧气、压缩空气、卤素(氟气、氯气、溴)、氧化剂等分开存放。切忌混储混运。储存间内的照明、通风等设施应采用防爆型,开关设在仓外,配备相应品种和数量的消防器材。禁止使用易产生火花的机械设备工具。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。
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