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六氟乙烷
产品类别:六氟乙烷
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六氟乙烷 (C2F6)

 

项目名称

纯度指标(%)
六氟乙烷

≥99.999

杂质含量(ppm)

 

一氧化碳(CO)

≤0.5
二氧化碳(CO2)

≤0.5

水(H2O)

≤1.5
酸度(以HF计)

≤0.1

氮气(N2)

≤8
氧气(O2)

≤2

其他有机物(Other Organics)

≤0.1

 

包装:采用40L、44L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到2L-8L的气瓶中。

 

用途: 用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂。

 

理化性质: 无色、无气味、非易燃的气体,在24.3℃以上时不能保持液态,分子量 138.0,沸 点 -78℃,熔 点 -101℃,微溶于水,稳定。

 

注意事项:

一、泄漏应急处理:戴自给式呼吸器,穿工作服。切断气源。抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

二、防护措施:

呼吸系统防护:空气中浓度较高时,应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴自给式呼吸器。

眼睛防护:一般不需要特殊防护。

身体防护:穿工作服。

手防护:一般不需要特殊防护。

其它:避免高浓度吸入。

三、急救措施

吸入:脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难给输氧。呼吸停止时,立即进行人工呼吸。就医。

灭火方法:切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。

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