三氯氢硅 （SiHCl3)
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项目名称 |
纯度指标（%） | |
| 三氯氢硅 |
≥99.95 |
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杂质含量（ppm)
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铁（Fe） |
≤5 |
| 铬（Cr） |
≤2 |
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锰（Mn） |
≤0.2 | |
| 镍（Ni) |
≤1 |
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铝（Al) |
≤1 | |
| 钼（Mo) |
≤1 |
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铜（Cu) |
≤0.05 | |
| 钴（Co) |
≤0.02 |
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硼（B） |
≤0.06 | |
| 磷（P） |
≤0.01 |
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氧（O） |
≤1 |
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包装：采用38L不锈钢钢瓶充装，阀门1/4”卡套。
用途：有机硅生产；半导体生产中的外延工艺的硅沉积；太阳能电池。
理化性质: 无色，腐蚀性，易燃烧液体，带有令人窒息的刺激性气味。
注意事项：气体用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和热源。远离火源。不慎与眼睛接触后，请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。穿戴适当的防护服、手套和擦亮护目镜或面具。
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